9月17日，上交所科创板披露，北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”）（首发）获上市委会议通过。

此前的7月29日， 头顶“光刻机概念第一股”光环的华卓精科曾被科创板上市委暂缓审议，因为上市委要求公司说明光刻机双工件台的产业化前景、技术研发是否依赖清华大学等事项。

双工件台尚未确认营业收入

华卓精科本次拟发行8000万股，募集资金7.35亿元，全部投入半导体装备关键零部件研发制造项目等5个项目。

资料显示，华卓精科成立于2012年5月，主营是以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务。其为业界熟稔，是因为光刻机双工件台。

光刻机工件台是光刻机的三大核心部件之一。华卓精科是国内首家自主研发、实现光刻机双工件台商业化的公司，并成为国产光刻机公司上海微电子的核心子系统供应商，在国内无其他可比竞争对手。

不过，华卓精科在招股书（上会稿）中披露，公司的纳米精度运动及测控系统相关技术开发业务客户十分单一，目前只有上海微电子一家，而且国内也只有上海微电子有该类采购需求。

根据披露，华卓精科2019年度和2020 年度对上海微电子的业务尚在执行合同内容，未完成验收，公司未确认营业收入。

多项产品填补国内空白

除了光刻机双工件台，华卓精科的其他多项产品也打破了国外垄断，产品化进展良好。

具体来说，在精密运动系统中，公司研发并量产了覆盖低、中、高端的定制化精密运动系统，在国产厂商中处于领先地位，打破国外厂商在高端领域的垄断。在晶圆级键合设备上，公司开展混合键合技术与晶圆级键合设备的研发，打破了EV Group 在国内混合键合领域的垄断。公司的激光退火设备聚焦40-14nm 的 IC 前道激光退火设备的研发。公司开发出 12 英寸 PVD 氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面。

商业化方面，华卓精科的精密运动系统产品已进入了中科飞测、中山新诺、长光华大、江苏影速等各个领域龙头企业的供应链。公司在晶圆级键合设备上实现收入的客户包括上海集成、 先方半导体、东途自动化。公司已实现首台激光退火设备的生产并完成向燕东微电子等客户交付。公司的静电卡盘也向华创微电子等公司供货。

根据披露，华卓精科2018年、2019年、2020年的营业收入分别为8，570.92万元、12，096.58万元、15，234.06万元，归属于母公司所有者的净利润分别为1，512.36万元、2，087.24万元、1，242.83万元，显示公司处于快速成长中。

更为重要的是，公司在手订单充足。截至7月31日，公司各产品在手订单总额 39，747.84 万元。其中，精密运动系统主要客户包括中科飞测、中山新诺等；激光退火设备主要客户包括宁波比亚迪、杭州士兰集昕（士兰微子公司）等；晶圆级键合设备主要客户包括北方集成、上海新昇（沪硅产业子公司）等。

研发人员占比超过三成

华卓精科是一家与清华大学有着千丝万缕联系的半导体设备公司，公司的控股股东、实际控制人朱煜是清华大学教授。

据披露，朱煜自2004年10月至今任清华大学教授。2012 年5月至2015 年7月任华卓有限董事长兼总经理；2015 年8月至2015年9月任华卓精科董事长；2015年9月至今任华卓精科董事、首席科学家。

朱煜是清华大学长聘教授，同时担任科技部重点领域创新团队负责人及国家02科技重大专项（即“02专项”）技术副总师。目前，朱煜拥有境内授权专利共200余项，美国授权专利26项。

对此，华卓精科进行了核心技术人员的风险提示。除了朱煜，公司的董事、核心技术人员张鸣系清华大学的副研究员，董事杨开明也是清华大学的副研究员。

作为一家半导体装备公司，华卓精科高度重视研发，其研发人员占比超过三成，报告期内研发投入占营业收入比例分别达到了16.04%、14.4%、14.03%。截至 2021 年 6 月 30 日，通过单独申请、受让以及共同申请的方式，华卓精科拥有 198 项专利，其中发明专利148项、实用新型43项、外观设计2项、美国专利5项。

今年上半年亏损同比扩大

翻看华卓精科的股东榜，有不少著名PE位列其中。

股东榜显示，本次发行前，上海半导体基金持有500万股，占比2.08%；中小企业发展基金持有300万股，占比1.25%；红星美凯龙持有240万股，占比1%；招商投资持有130.95万股，占比0.55%；深圳招远持有119.05万股，占比0.5%。

记者查阅，上海半导体基金即上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙），万业企业、大基金分别持有其19.8%份额。招商投资是招商证券全资子公司，深圳招远的普通合伙人及执行事务合伙人北京致远励新投资管理有限公司是招商证券的全资孙公司。

不过，需要提醒的是，华卓精科今年上半年业绩亏损进一步加大。

华卓精科提示，由于研发人员、管理人员较同期大幅增加，导致研发人员薪酬及管理人员薪酬增幅较大，同时研发材料投入同比增加、办公大楼折旧费用增加，公司上半年净利润为-1，874.07 万元，同比亏损扩大。

公司还预计今年1-9月的净利润为-1，800万元至-1，500万元。根据披露，公司2020 年1-9 月同期净利润为-157.83 万元。

此外，在风险提示中，华卓精科还对公司客户单一、商业化前景不明朗、专利技术到期、部分核心人员等多项风险进行了坦诚提示。

比如，公司披露，截至2021年6月30日，公司拥有的专利中有19项实用新型、1项外观设计、1 项发明专利权保护期不足5年。