《科创板日报》（上海，编辑 郑远方），大基金又出新动向了，不过这次并非减持。今日盘后，至纯科技公告，子公司至微科技拟引入战略投资者，大基金二期和混改基金等入股。

根据公告，本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元/注册资本，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。

公开资料显示，至微科技主营半导体湿法设备，其成立以来，已累计获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，为国内湿法设备主要供应商之一。

而清洗制程是集成电路芯片制造的关键工艺，是集成电路工艺中重复次数最多的工艺，对良率有着重要影响。目前清洗工艺主要包括湿法和干法两大类，其中湿法用途更广，包括光刻胶去胶剥离及清洗、CMP后清洗、刻蚀后清洗以及薄膜沉积后清洗等清洗工艺。

2020年，至纯科技湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。

7月，至纯科技曾表示，公司28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。分析人士预计，其14nm、7nm工艺2022年可供客户验证，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为等。

一期减持 二期投资

值得注意的是，这是本月大基金的首次入股动向。上周五，兆易创新、晶方科技双双发布大基金减持计划公告；不久之前，大基金还对瑞芯微、万业企业、北斗星通、三安光电、雅克科技等多家半导体公司进行不同程度的减持，甚至一度引发市场恐慌情绪。

不过，实施减持的主要是大基金一期。多家机构此前已表示，大基金一期通过投资半导体行业上市公司获利颇丰，减持属于正常市场操作。一期已按自身规划，有序退出优化投资结构，2019-2023年已进入回收期。

大基金一期逐渐退出的同时，二期也在持续跟进。自去年首次出手，注资紫光展锐之后，大基金二期还陆续投资了中芯国际、华润微、南大光电、佰维存储等多家公司。

申港证券指出，大基金一期的良性退出，有利于大基金二期将资金针对性地投入到半导体产业链中较为薄弱的环节上来，以打造更良好的生态。安信证券、国海证券均认为，二期将围绕半导体产业链，更聚焦上游的设备、材料领域，加大投资——今日入股至微科技的举动，一定程度上也验证了这一分析。

分析师看好规模超2000亿的国家大基金二期撬动更广泛的社会资金进场，为集成电路行业带来更多资金和资源。虽然国内部分半导体企业已实现从0到1的突破，但据国际先进水平仍存差距，仍需资金支撑，大基金的增持也有望支持企业未来长期成长，填补关键工艺空缺。